| 제목 | 반도체 공정에 이용되는 RF | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 등록자 | 금붕어 | 등록일 | 2001.08.07 13:12:10 | 접속 | 89960 | |
| 안녕하세요.. 음 정말 깔끔하고 좋은 싸이트네요. 저는 지금 반도체업종에 몸담고 있는데, 반도체 공정에는 RF가 많이 쓰이는데, RF에 관련해서 알고 싶은데 어디서 부터 손을 데야할지 모르겠네요. 주로 RF로 plasma를 형성하고 film deposiotion & cleaning에 이용되는데요. 여기에 관한 자세한 자료나 좋은 싸이트 있으면 소개좀 해주시겠습니까? 그리고 Reflect power와 관련된 요소.. 등등 질문이 좀 모호한데, 제가 잘 표현을 못 한것 같네요. 반도체와 관련된 RF 특성에 대해서 알고 싶습니다. |
||||||
| ... 자료없음 ... | ||||||