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제목 반도체 공정에 이용되는 RF
등록자 금붕어 등록일 2001.08.07 13:12:10 접속 89960
안녕하세요..
음 정말 깔끔하고 좋은 싸이트네요.

저는 지금 반도체업종에 몸담고 있는데,
반도체 공정에는 RF가 많이 쓰이는데, RF에 관련해서 알고 싶은데 어디서 부터 손을 데야할지 모르겠네요.
주로 RF로 plasma를 형성하고 film deposiotion & cleaning에 이용되는데요.
여기에 관한 자세한 자료나 좋은 싸이트 있으면 소개좀 해주시겠습니까?
그리고 Reflect power와 관련된 요소.. 등등

질문이 좀 모호한데, 제가 잘 표현을 못 한것 같네요.
반도체와 관련된 RF 특성에 대해서 알고 싶습니다.
... 자료없음 ...